基恩士激光三维轮廓仪的测试原理和技术特点说明

　　测量时通过计算机控制徽驱动装置的进给带动参考镜的进给，这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入干涉区，如果在充足的扫描范围内进给，被测样本表面的整个高度范围都可以通过较佳干涉位置。将每步的干涉图样由图像传感器采集，视频信号通过图像采集卡转换成数字信号并存储于计算机内存中，利用与被测面对应的各像素点相关的干涉数据，基于白光干涉的典型特征，通过采用某种较佳干涉位置识别算法对干涉图样数据进行分析处理，提取出特征点位置较佳干涉位置J，进而就很容易得到各像素点的相对高度，这样便实现了对三维形貌的测量。

 

　　以往，表面形态的测量方法，一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量（线＋高差），但近年来，伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速，需要获取更多的信息，因此，采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量（面＋高差）便得到了灵活应用。

 

　　基恩士激光三维轮廓仪的技术特点：

　　常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的结合。

 

　　双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到小区域三维测图。

 

　　针尖扫描采用压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围。

 

　　在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。

 

　　针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围及亚纳米级垂直分辨率

 

　　软件设置恒定微力接触。

 

　　简单的2步关键操作，友好的软件操作界面。